VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
p-Si (P:10e14) native oxide (grazing x-rays)HF buf
1
(Treated with buffered HF solution, no ion etching
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
(Treated with buffered HF solution, no ion etching
p-Si (P:10e14) native oxide (grazing x-rays)HF buf
2003
5
10
15
34
6
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.75
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1100
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
2
4.00E-06
0
0
0
0
2202
5
10630
0.0603073
0.397444
399
0.397444
363
0.396009
410
0.394583
358
0.393166
403
0.391757
402
0.390357
419
0.388966
438
0.387583
378
0.386209
366
0.384843
382
0.383485
430
0.382135
391
0.380794
384
0.37946
406
0.378135
457
0.376817
410
0.375508
403
0.374206
431
0.372911
432
0.371625
450
0.370346
396
0.369075
428
0.367811
394
0.366554
436
0.365305
442
0.364063
434
0.362828
427
0.361601
482
0.36038
445
0.359167
470
0.35796
441
0.356761
434
0.355568
464
0.354383
460
0.353204
464
0.352031
459
0.350866
507
0.349706
485
0.348554
431
0.347408
466
0.346268
487
0.345135
494
0.344008
490
0.342888
481
0.341773
437
0.340665
479
0.339563
521
0.338468
535
0.337378
556
0.336294
516
0.335216
500
0.334144
501
0.333078
534
0.332018
546
0.330963
546
0.329914
525
0.328871
529
0.327834
568
0.326802
530
0.325776
563
0.324755
566
0.32374
535
0.32273
595
0.321725
585
0.320726
585
0.319732
606
0.318744
576
0.31776
608
0.316782
584
0.315809
643
0.314841
626
0.313879
568
0.312921
622
0.311968
700
0.31102
619
0.310077
671
0.309139
637
0.308206
684
0.307278
696
0.306354
715
0.305435
667
0.304521
719
0.303612
726
0.302707
743
0.301807
752
0.300911
747
0.30002
738
0.299134
751
0.298252
754
0.297374
773
0.296501
726
0.295632
755
0.294768
803
0.293908
850
0.293052
820
0.2922
929
0.291353
887
0.29051
897
0.289671
965
0.288836
942
0.288006
882
0.287179
937
0.286357
891
0.285538
868
0.284724
850
0.283913
845
0.283106
858
0.282304
780
0.281505
776
0.28071
846
0.279919
852
0.279132
875
0.278348
941
0.277569
880
0.276793
919
0.276021
1088
0.275252
1138
0.274487
1209
0.273726
1272
0.272968
1384
0.272214
1435
0.271464
1310
0.270717
1199
0.269973
1075
0.269233
1014
0.268497
984
0.267764
819
0.267034
791
0.266308
790
0.265585
728
0.264866
680
0.26415
633
0.263437
612
0.262727
607
0.262021
587
0.261318
562
0.260618
561
0.259922
551
0.259228
576
0.258538
577
0.257851
529
0.257167
535
0.256486
545
0.255808
563
0.255134
586
0.254462
578
0.253793
577
0.253128
567
0.252465
585
0.251805
599
0.251149
575
0.250495
576
0.249844
616
0.249196
596
0.248551
597
0.247909
583
0.247269
610
0.246633
612
0.245999
560
0.245368
583
0.24474
629
0.244114
645
0.243492
627
0.242872
633
0.242254
569
0.24164
575
0.241028
621
0.240418
603
0.239812
640
0.239208
647
0.238606
630
0.238007
561
0.237411
680
0.236817
621
0.236226
623
0.235637
623
0.235051
633
0.234467
631
0.233886
658
0.233308
653
0.232731
648
0.232157
666
0.231586
654
0.231017
663
0.23045
615
0.229886
653
0.229324
603
0.228765
672
0.228208
709
0.227653
656
0.2271
661
0.22655
697
0.226002
716
0.225456
712
0.224913
665
0.224372
697
0.223833
688
0.223296
681
0.222761
642
0.222229
694
0.221699
648
0.221171
701
0.220645
694
0.220121
694
0.219599
635
0.21908
710
0.218563
706
0.218047
709
0.217534
698
0.217023
702
0.216514
708
0.216007
684
0.215502
728
0.214999
718
0.214498
736
0.213999
714
0.213502
793
0.213007
764
0.212514
742
0.212022
726
0.211533
741
0.211046
754
0.210561
730
0.210077
758
0.209596
760
0.209116
727
0.208638
759
0.208163
717
0.207688
728
0.207216
726
0.206746
760
0.206277
820
0.205811
837
0.205346
834
0.204883
824
0.204422
801
0.203962
821
0.203504
822
0.203048
762
0.202594
827
0.202141
826
0.201691
775
0.201242
830
0.200794
795
0.200349
829
0.199905
777
0.199462
825
0.199022
847
0.198583
811
0.198146
868
0.19771
846
0.197276
789
0.196844
797
0.196413
824
0.195984
830
0.195556
855
0.19513
834
0.194706
865
0.194283
865
0.193862
897
0.193443
868
0.193024
891
0.192608
926
0.192193
928
0.19178
970
0.191368
934
0.190957
862
0.190548
917
0.190141
932
0.189735
959
0.189331
916
0.188928
887
0.188526
927
0.188126
892
0.187728
906
0.18733
896
0.186935
864
0.18654
842
0.186148
882
0.185756
907
0.185366
864
0.184978
930
0.18459
894
0.184205
893
0.18382
850
0.183437
834
0.183055
895
0.182675
937
0.182296
905
0.181918
866
0.181542
946
0.181167
918
0.180793
952
0.180421
935
0.18005
908
0.17968
927
0.179312
942
0.178945
939
0.178579
926
0.178214
914
0.177851
915
0.177489
951
0.177128
947
0.176769
908
0.176411
957
0.176054
977
0.175698
904
0.175343
946
0.17499
905
0.174638
931
0.174287
890
0.173937
965
0.173589
1023
0.173242
959
0.172896
931
0.172551
939
0.172207
942
0.171864
974
0.171523
984
0.171183
1014
0.170844
1025
0.170506
952
0.170169
956
0.169833
960
0.169499
979
0.169165
995
0.168833
998
0.168502
1001
0.168172
1018
0.167843
999
0.167515
1048
0.167189
1046
0.166863
938
0.166538
1054
0.166215
1021
0.165893
984
0.165571
1018
0.165251
983
0.164932
1048
0.164614
1037
0.164297
997
0.163981
1026
0.163666
1141
0.163352
1073
0.163039
1033
0.162727
1080
0.162416
1032
0.162106
1059
0.161797
1073
0.161489
1019
0.161182
1086
0.160877
1115
0.160572
1072
0.160268
1110
0.159965
1062
0.159663
1141
0.159362
1075
0.159062
1060
0.158763
1102
0.158465
1121
0.158168
1093
0.157872
1103
0.157577
1096
0.157283
1105
0.156989
1136
0.156697
1065
0.156406
1164
0.156115
1102
0.155825
1144
0.155537
1157
0.155249
1138
0.154962
1139
0.154676
1097
0.154391
1115
0.154107
1147
0.153824
1125
0.153542
1184
0.15326
1222
0.15298
1230
0.1527
1179
0.152421
1202
0.152143
1158
0.151866
1151
0.15159
1185
0.151315
1150
0.15104
1184
0.150767
1224
0.150494
1183
0.150222
1237
0.149951
1105
0.149681
1218
0.149411
1231
0.149143
1196
0.148875
1174
0.148608
1229
0.148342
1215
0.148077
1174
0.147812
1247
0.147548
1177
0.147285
1207
0.147023
1194
0.146762
1198
0.146502
1218
0.146242
1206
0.145983
1338
0.145725
1273
0.145468
1323
0.145211
1571
0.144955
2072
0.1447
1998
0.144446
1406
0.144193
1254
0.14394
1276
0.143688
1262
0.143437
1196
0.143186
1269
0.142937
1247
0.142688
1206
0.142439
1211
0.142192
1299
0.141945
1245
0.141699
1234
0.141454
1255
0.141209
1300
0.140965
1294
0.140722
1243
0.14048
1270
0.140238
1273
0.139997
1245
0.139757
1321
0.139518
1327
0.139279
1228
0.139041
1319
0.138803
1267
0.138566
1327
0.13833
1308
0.138095
1292
0.13786
1305
0.137626
1296
0.137393
1232
0.13716
1294
0.136928
1347
0.136697
1357
0.136466
1306
0.136236
1326
0.136007
1340
0.135779
1316
0.135551
1315
0.135323
1319
0.135097
1365
0.134871
1382
0.134645
1368
0.13442
1339
0.134196
1367
0.133973
1360
0.13375
1384
0.133528
1356
0.133306
1400
0.133085
1379
0.132865
1356
0.132645
1436
0.132426
1420
0.132208
1351
0.13199
1418
0.131773
1487
0.131556
1395
0.13134
1470
0.131125
1428
0.13091
1408
0.130696
1402
0.130483
1439
0.13027
1456
0.130057
1445
0.129846
1462
0.129634
1450
0.129424
1450
0.129214
1497
0.129004
1494
0.128795
1523
0.128587
1515
0.12838
1538
0.128172
1461
0.127966
1544
0.12776
1504
0.127555
1527
0.12735
1562
0.127145
1490
0.126942
1560
0.126739
1544
0.126536
1532
0.126334
1570
0.126132
1562
0.125931
1542
0.125731
1620
0.125531
1583
0.125332
1588
0.125133
1670
0.124935
1545
0.124737
1589
0.12454
1642
0.124344
1610
0.124147
1621
0.123952
1716
0.123757
1650
0.123562
1683
0.123368
1718
0.123175
1671
0.122982
1667
0.12279
1684
0.122598
1742
0.122406
1733
0.122215
1697
0.122025
1712
0.121835
1694
0.121646
1721
0.121457
1778
0.121269
1810
0.121081
1761
0.120893
1695
0.120707
1722
0.12052
1790
0.120334
1735
0.120149
1832
0.119964
1791
0.11978
1844
0.119596
1816
0.119412
1806
0.119229
1801
0.119047
1874
0.118865
1910
0.118683
1852
0.118502
1928
0.118322
1898
0.118142
1768
0.117962
1976
0.117783
2023
0.117604
1900
0.117426
2071
0.117248
2067
0.117071
2081
0.116894
2149
0.116718
2179
0.116542
2089
0.116366
2168
0.116191
2240
0.116017
2116
0.115843
2028
0.115669
2050
0.115496
2068
0.115323
1976
0.115151
2069
0.114979
1952
0.114807
1950
0.114636
1879
0.114466
1942
0.114295
1811
0.114126
1779
0.113956
1790
0.113788
1796
0.113619
1760
0.113451
1804
0.113284
1785
0.113116
1837
0.11295
2113
0.112783
3769
0.112617
8998
0.112452
10630
0.112287
4957
0.112122
2239
0.111958
1732
0.111794
1736
0.111631
1608
0.111468
1591
0.111305
1645
0.111143
1659
0.110981
1604
0.11082
1615
0.110659
1628
0.110498
1604
0.110338
1608
0.110178
1690
0.110019
1594
0.10986
1605
0.109701
1626
0.109543
1576
0.109385
1579
0.109228
1578
0.109071
1662
0.108914
1645
0.108758
1651
0.108602
1611
0.108447
1590
0.108292
1587
0.108137
1642
0.107982
1662
0.107829
1713
0.107675
1635
0.107522
1637
0.107369
1675
0.107216
1689
0.107064
1685
0.106912
1678
0.106761
1731
0.10661
1702
0.106459
1628
0.106309
1672
0.106159
1743
0.10601
1652
0.105861
1689
0.105712
1626
0.105563
1687
0.105415
1728
0.105267
1695
0.10512
1649
0.104973
1692
0.104826
1705
0.10468
1691
0.104534
1680
0.104388
1753
0.104243
1712
0.104098
1706
0.103953
1734
0.103809
1714
0.103665
1651
0.103522
1717
0.103378
1693
0.103235
1757
0.103093
1727
0.102951
1688
0.102809
1696
0.102667
1707
0.102526
1807
0.102385
1795
0.102245
1727
0.102104
1748
0.101964
1798
0.101825
1742
0.101686
1708
0.101547
1754
0.101408
1812
0.10127
1707
0.101132
1714
0.100994
1747
0.100857
1768
0.10072
1761
0.100583
1733
0.100447
1758
0.100311
1791
0.100175
1788
0.10004
1758
0.0999048
1708
0.09977
1828
0.0996356
1745
0.0995014
1879
0.0993676
1797
0.099234
1794
0.0991008
1781
0.0989679
1753
0.0988353
1873
0.098703
1763
0.098571
1816
0.0984393
1807
0.0983079
1912
0.0981767
1849
0.0980459
1855
0.0979154
1833
0.0977852
1863
0.0976553
1871
0.0975257
1830
0.0973964
1864
0.0972674
1875
0.0971386
1765
0.0970102
1804
0.096882
1847
0.0967542
1870
0.0966266
1872
0.0964993
1865
0.0963723
1857
0.0962456
1935
0.0961192
1824
0.095993
1801
0.0958672
1846
0.0957416
1846
0.0956163
1891
0.0954913
1957
0.0953666
1880
0.0952421
1909
0.095118
1890
0.0949941
1928
0.0948704
1945
0.0947471
1921
0.094624
1943
0.0945012
1913
0.0943787
1795
0.0942564
1922
0.0941345
1949
0.0940128
1914
0.0938913
2044
0.0937701
2074
0.0936492
2069
0.0935286
1956
0.0934082
1988
0.0932881
1941
0.0931683
1959
0.0930487
1988
0.0929294
1935
0.0928103
1897
0.0926915
1873
0.092573
2010
0.0924547
1945
0.0923367
1985
0.092219
1949
0.0921015
1946
0.0919842
1885
0.0918672
2000
0.0917505
2015
0.091634
1901
0.0915178
2002
0.0914018
1934
0.0912861
2023
0.0911707
2107
0.0910554
2031
0.0909405
2006
0.0908257
2037
0.0907113
1946
0.090597
2006
0.0904831
2112
0.0903693
2094
0.0902558
2009
0.0901426
1969
0.0900296
2026
0.0899168
2080
0.0898043
2111
0.089692
1968
0.08958
1951
0.0894682
2053
0.0893567
2002
0.0892453
2042
0.0891343
2048
0.0890234
2071
0.0889128
2063
0.0888024
2107
0.0886923
2042
0.0885824
2078
0.0884727
2181
0.0883633
2012
0.0882541
2105
0.0881451
2027
0.0880364
2036
0.0879279
2121
0.0878196
2114
0.0877115
2149
0.0876037
2062
0.0874961
2076
0.0873887
2113
0.0872815
2094
0.0871746
2116
0.0870679
2116
0.0869614
2102
0.0868552
2150
0.0867492
2197
0.0866434
2051
0.0865378
2222
0.0864324
2082
0.0863272
2190
0.0862223
2145
0.0861176
2229
0.0860131
2159
0.0859088
2178
0.0858048
2230
0.0857009
2171
0.0855973
2211
0.0854939
2178
0.0853907
2249
0.0852877
2229
0.0851849
2176
0.0850824
2259
0.08498
2287
0.0848779
2252
0.0847759
2264
0.0846742
2182
0.0845727
2248
0.0844714
2170
0.0843703
2274
0.0842694
2301
0.0841688
2280
0.0840683
2207
0.083968
2276
0.0838679
2212
0.0837681
2295
0.0836684
2307
0.083569
2176
0.0834697
2303
0.0833707
2304
0.0832718
2332
0.0831732
2382
0.0830747
2323
0.0829765
2328
0.0828784
2301
0.0827806
2250
0.0826829
2319
0.0825855
2266
0.0824882
2245
0.0823912
2286
0.0822943
2273
0.0821976
2370
0.0821012
2449
0.0820049
2395
0.0819088
2376
0.0818129
2367
0.0817172
2546
0.0816217
3141
0.0815264
3748
0.0814312
4637
0.0813363
3221
0.0812415
2449
0.081147
2340
0.0810526
2359
0.0809584
2352
0.0808644
2284
0.0807706
2254
0.080677
2449
0.0805835
2318
0.0804903
2372
0.0803972
2325
0.0803043
2393
0.0802116
2374
0.0801191
2299
0.0800268
2342
0.0799346
2325
0.0798427
2375
0.0797509
2435
0.0796593
2363
0.0795678
2473
0.0794766
2383
0.0793855
2439
0.0792946
2347
0.0792039
2499
0.0791134
2465
0.079023
2377
0.0789329
2492
0.0788429
2449
0.078753
2529
0.0786634
2482
0.0785739
2503
0.0784846
2467
0.0783955
2511
0.0783065
2606
0.0782177
2630
0.0781291
2542
0.0780407
2559
0.0779524
2574
0.0778643
2652
0.0777764
2548
0.0776886
2703
0.0776011
2684
0.0775136
2709
0.0774264
2653
0.0773393
2645
0.0772524
2742
0.0771657
2662
0.0770791
2667
0.0769927
2697
0.0769064
2678
0.0768203
2703
0.0767344
2734
0.0766487
2730
0.0765631
2821
0.0764777
2715
0.0763924
2738
0.0763073
2705
0.0762224
2709
0.0761376
2789
0.076053
2844
0.0759685
2887
0.0758842
2876
0.0758001
2877
0.0757162
2869
0.0756323
2921
0.0755487
2952
0.0754652
2890
0.0753819
2793
0.0752987
2907
0.0752157
2904
0.0751328
2937
0.0750501
2907
0.0749675
2895
0.0748852
2999
0.0748029
3006
0.0747208
2967
0.0746389
2994
0.0745571
3066
0.0744755
3164
0.074394
3159
0.0743127
3073
0.0742315
3171
0.0741505
3157
0.0740697
3239
0.073989
3258
0.0739084
3230
0.073828
3194
0.0737477
3156
0.0736676
3186
0.0735877
3029
0.0735078
3225
0.0734282
3096
0.0733487
3282
0.0732693
3323
0.0731901
3385
0.073111
3341
0.0730321
3483
0.0729533
3682
0.0728746
3734
0.0727961
3768
0.0727178
3726
0.0726396
3526
0.0725615
3411
0.0724836
3311
0.0724059
3281
0.0723282
3166
0.0722507
3081
0.0721734
3091
0.0720962
3107
0.0720191
3143
0.0719422
3269
0.0718654
3339
0.0717888
3513
0.0717123
3655
0.0716359
4222
0.0715597
4510
0.0714836
4801
0.0714077
4614
0.0713319
4090
0.0712562
3630
0.0711807
3095
0.0711053
2859
0.07103
2662
0.0709549
2630
0.0708799
2608
0.0708051
2427
0.0707304
2508
0.0706558
2546
0.0705814
2741
0.0705071
3145
0.0704329
3452
0.0703588
3593
0.0702849
4585
0.0702112
8748
0.0701375
9899
0.070064
4410
0.0699906
2465
0.0699174
2069
0.0698443
1920
0.0697713
1757
0.0696984
1735
0.0696257
1677
0.0695531
1742
0.0694807
1663
0.0694083
1776
0.0693361
1734
0.0692641
1830
0.0691921
1887
0.0691203
2042
0.0690486
2108
0.068977
2109
0.0689056
2083
0.0688343
1985
0.0687631
1850
0.0686921
1753
0.0686211
1623
0.0685503
1542
0.0684796
1450
0.0684091
1485
0.0683386
1473
0.0682683
1476
0.0681982
1549
0.0681281
1492
0.0680582
1648
0.0679883
1875
0.0679187
2126
0.0678491
2501
0.0677796
2860
0.0677103
2904
0.0676411
2396
0.067572
1897
0.0675031
1390
0.0674342
1175
0.0673655
1031
0.0672969
934
0.0672284
920
0.0671601
817
0.0670918
803
0.0670237
792
0.0669557
736
0.0668878
1151
0.06682
1674
0.0667524
1284
0.0666849
1377
0.0666174
5206
0.0665501
9414
0.066483
2365
0.0664159
371
0.0663489
255
0.0662821
211
0.0662154
191
0.0661488
181
0.0660823
158
0.0660159
164
0.0659496
129
0.0658835
120
0.0658175
136
0.0657515
140
0.0656857
140
0.06562
142
0.0655545
141
0.065489
147
0.0654236
152
0.0653584
173
0.0652932
140
0.0652282
144
0.0651633
164
0.0650985
148
0.0650338
164
0.0649692
143
0.0649048
170
0.0648404
136
0.0647761
146
0.064712
141
0.064648
163
0.064584
162
0.0645202
151
0.0644565
174
0.0643929
164
0.0643294
160
0.064266
193
0.0642027
182
0.0641396
150
0.0640765
179
0.0640135
161
0.0639507
185
0.0638879
193
0.0638253
192
0.0637628
194
0.0637003
161
0.063638
181
0.0635758
161
0.0635136
174
0.0634516
158
0.0633897
170
0.0633279
168
0.0632662
183
0.0632046
215
0.0631431
180
0.0630817
179
0.0630204
183
0.0629592
216
0.0628981
193
0.0628371
203
0.0627762
182
0.0627155
191
0.0626548
193
0.0625942
194
0.0625337
194
0.0624733
223
0.062413
191
0.0623528
229
0.0622928
197
0.0622328
219
0.0621729
234
0.0621131
250
0.0620534
297
0.0619938
297
0.0619343
404
0.0618749
395
0.0618156
374
0.0617564
278
0.0616973
213
0.0616383
201
0.0615794
189
0.0615206
194
0.0614619
170
0.0614032
125
0.0613447
146
0.0612863
152
0.0612279
161
0.0611697
188
0.0611115
197
0.0610535
229
0.0609955
220
0.0609377
249
0.0608799
274
0.0608222
281
0.0607647
211
0.0607072
155
0.0606498
153
0.0605925
185
0.0605353
141
0.0604781
80
0.0604211
15
0.0603642
5
0.0603073
(Treated with buffered HF solution, no ion etching
p-Si (P:10e14) native oxide (grazing x-rays)HF buf
2003
5
10
15
34
8
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.75
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
20
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
602
5
1509
0.059744
0.0614619
904
0.0614619
878
0.061456
931
0.0614501
972
0.0614443
919
0.0614384
858
0.0614325
919
0.0614267
892
0.0614208
907
0.0614149
857
0.0614091
836
0.0614032
850
0.0613974
827
0.0613915
816
0.0613857
781
0.0613798
773
0.061374
802
0.0613681
788
0.0613622
763
0.0613564
781
0.0613506
751
0.0613447
738
0.0613389
708
0.061333
725
0.0613272
732
0.0613213
710
0.0613155
740
0.0613096
658
0.0613038
680
0.0612979
691
0.0612921
711
0.0612863
648
0.0612804
689
0.0612746
734
0.0612688
714
0.0612629
755
0.0612571
746
0.0612513
695
0.0612454
739
0.0612396
709
0.0612338
751
0.0612279
764
0.0612221
729
0.0612163
763
0.0612105
767
0.0612046
829
0.0611988
852
0.061193
781
0.0611872
830
0.0611813
793
0.0611755
851
0.0611697
859
0.0611639
845
0.0611581
835
0.0611522
849
0.0611464
937
0.0611406
959
0.0611348
842
0.061129
894
0.0611232
916
0.0611174
861
0.0611115
930
0.0611057
868
0.0610999
940
0.0610941
998
0.0610883
962
0.0610825
1017
0.0610767
946
0.0610709
976
0.0610651
1042
0.0610593
999
0.0610535
1002
0.0610477
1088
0.0610419
1055
0.0610361
1055
0.0610303
1068
0.0610245
1092
0.0610187
1097
0.0610129
1116
0.0610071
1188
0.0610013
1159
0.0609955
1237
0.0609897
1146
0.060984
1149
0.0609782
1239
0.0609724
1306
0.0609666
1219
0.0609608
1304
0.060955
1227
0.0609492
1274
0.0609435
1289
0.0609377
1301
0.0609319
1284
0.0609261
1328
0.0609203
1290
0.0609146
1312
0.0609088
1298
0.060903
1347
0.0608972
1318
0.0608915
1262
0.0608857
1335
0.0608799
1287
0.0608741
1226
0.0608684
1292
0.0608626
1252
0.0608568
1321
0.0608511
1238
0.0608453
1277
0.0608395
1286
0.0608338
1257
0.060828
1211
0.0608222
1300
0.0608165
1332
0.0608107
1337
0.0608049
1254
0.0607992
1354
0.0607934
1402
0.0607877
1397
0.0607819
1403
0.0607762
1467
0.0607704
1466
0.0607647
1509
0.0607589
1381
0.0607531
1453
0.0607474
1437
0.0607416
1421
0.0607359
1346
0.0607301
1328
0.0607244
1311
0.0607187
1251
0.0607129
1309
0.0607072
1224
0.0607014
1201
0.0606957
1064
0.0606899
1057
0.0606842
1049
0.0606785
1000
0.0606727
867
0.060667
931
0.0606612
847
0.0606555
857
0.0606498
840
0.060644
823
0.0606383
777
0.0606326
796
0.0606268
789
0.0606211
813
0.0606154
796
0.0606096
856
0.0606039
822
0.0605982
899
0.0605925
833
0.0605867
875
0.060581
877
0.0605753
836
0.0605696
931
0.0605639
927
0.0605581
832
0.0605524
993
0.0605467
932
0.060541
943
0.0605353
985
0.0605295
909
0.0605238
942
0.0605181
961
0.0605124
924
0.0605067
913
0.060501
949
0.0604953
864
0.0604896
900
0.0604838
824
0.0604781
821
0.0604724
770
0.0604667
825
0.060461
762
0.0604553
709
0.0604496
691
0.0604439
676
0.0604382
597
0.0604325
558
0.0604268
522
0.0604211
468
0.0604154
450
0.0604097
426
0.060404
393
0.0603983
310
0.0603926
283
0.0603869
261
0.0603813
191
0.0603756
190
0.0603699
140
0.0603642
131
0.0603585
91
0.0603528
110
0.0603471
73
0.0603414
69
0.0603358
48
0.0603301
54
0.0603244
44
0.0603187
35
0.060313
36
0.0603073
35
0.0603017
38
0.060296
34
0.0602903
33
0.0602846
38
0.060279
27
0.0602733
33
0.0602676
25
0.0602619
28
0.0602563
24
0.0602506
18
0.0602449
28
0.0602393
22
0.0602336
18
0.0602279
27
0.0602223
23
0.0602166
24
0.0602109
23
0.0602053
19
0.0601996
15
0.0601939
25
0.0601883
28
0.0601826
21
0.060177
16
0.0601713
18
0.0601656
18
0.06016
17
0.0601543
19
0.0601487
16
0.060143
17
0.0601374
14
0.0601317
22
0.0601261
14
0.0601204
29
0.0601148
17
0.0601091
11
0.0601035
9
0.0600978
18
0.0600922
20
0.0600865
8
0.0600809
14
0.0600753
20
0.0600696
10
0.060064
13
0.0600583
17
0.0600527
14
0.0600471
12
0.0600414
15
0.0600358
12
0.0600302
11
0.0600245
10
0.0600189
15
0.0600133
12
0.0600076
8
0.060002
10
0.0599964
12
0.0599907
18
0.0599851
12
0.0599795
16
0.0599738
18
0.0599682
11
0.0599626
16
0.059957
16
0.0599514
8
0.0599457
10
0.0599401
12
0.0599345
17
0.0599289
10
0.0599233
5
0.0599176
10
0.059912
9
0.0599064
14
0.0599008
17
0.0598952
11
0.0598896
13
0.059884
8
0.0598783
9
0.0598727
13
0.0598671
12
0.0598615
7
0.0598559
15
0.0598503
7
0.0598447
5
0.0598391
11
0.0598335
14
0.0598279
9
0.0598223
15
0.0598167
14
0.0598111
9
0.0598055
15
0.0597999
22
0.0597943
13
0.0597887
10
0.0597831
14
0.0597775
8
0.0597719
13
0.0597663
16
0.0597607
9
0.0597551
14
0.0597495
7
0.059744
(Treated with buffered HF solution, no ion etching
p-Si (P:10e14) native oxide (grazing x-rays)HF buf
2003
5
10
15
34
8
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
538
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
5
4.00E-06
0
0
0
0
402
188
1936
0.208638
0.210837
239
0.210837
247
0.210826
231
0.210815
220
0.210804
236
0.210793
201
0.210781
208
0.21077
223
0.210759
241
0.210748
223
0.210737
227
0.210726
233
0.210715
191
0.210704
236
0.210693
225
0.210682
241
0.21067
244
0.210659
207
0.210648
243
0.210637
211
0.210626
209
0.210615
223
0.210604
220
0.210593
227
0.210582
222
0.210571
237
0.21056
210
0.210548
262
0.210537
224
0.210526
226
0.210515
231
0.210504
227
0.210493
227
0.210482
250
0.210471
250
0.21046
255
0.210449
227
0.210438
230
0.210427
224
0.210416
223
0.210405
265
0.210393
203
0.210382
220
0.210371
272
0.21036
237
0.210349
207
0.210338
241
0.210327
229
0.210316
222
0.210305
220
0.210294
254
0.210283
215
0.210272
256
0.210261
254
0.21025
257
0.210239
250
0.210228
231
0.210217
274
0.210205
260
0.210194
266
0.210183
291
0.210172
311
0.210161
283
0.21015
308
0.210139
320
0.210128
333
0.210117
367
0.210106
379
0.210095
403
0.210084
421
0.210073
396
0.210062
448
0.210051
468
0.21004
499
0.210029
532
0.210018
532
0.210007
624
0.209996
637
0.209985
721
0.209974
769
0.209963
841
0.209952
886
0.209941
965
0.20993
1022
0.209919
1072
0.209908
1188
0.209897
1221
0.209886
1324
0.209875
1377
0.209864
1516
0.209853
1525
0.209842
1589
0.209831
1642
0.20982
1674
0.209809
1774
0.209798
1833
0.209787
1867
0.209776
1896
0.209765
1924
0.209754
1936
0.209743
1909
0.209732
1877
0.209721
1803
0.20971
1836
0.209699
1740
0.209688
1709
0.209677
1638
0.209666
1565
0.209655
1502
0.209644
1504
0.209633
1431
0.209622
1302
0.209611
1191
0.2096
1264
0.209589
1069
0.209578
1097
0.209567
1012
0.209556
930
0.209545
869
0.209534
867
0.209523
818
0.209512
709
0.209501
690
0.20949
594
0.209479
568
0.209468
542
0.209457
545
0.209446
494
0.209435
459
0.209424
428
0.209413
396
0.209402
376
0.209391
356
0.20938
349
0.209369
331
0.209358
347
0.209347
276
0.209336
278
0.209325
271
0.209314
234
0.209304
283
0.209293
260
0.209282
240
0.209271
238
0.20926
248
0.209249
241
0.209238
213
0.209227
215
0.209216
224
0.209205
240
0.209194
236
0.209183
238
0.209172
213
0.209161
231
0.20915
215
0.209139
199
0.209128
210
0.209118
198
0.209107
211
0.209096
218
0.209085
232
0.209074
220
0.209063
218
0.209052
207
0.209041
221
0.20903
202
0.209019
239
0.209008
231
0.208997
194
0.208986
191
0.208975
210
0.208965
215
0.208954
242
0.208943
202
0.208932
206
0.208921
208
0.20891
206
0.208899
205
0.208888
241
0.208877
232
0.208866
200
0.208855
216
0.208845
224
0.208834
225
0.208823
210
0.208812
208
0.208801
236
0.20879
213
0.208779
222
0.208768
218
0.208757
219
0.208746
188
0.208736
222
0.208725
219
0.208714
207
0.208703
205
0.208692
218
0.208681
236
0.20867
219
0.208659
202
0.208648
211
0.208638
(Treated with buffered HF solution, no ion etching
p-Si (P:10e14) native oxide (grazing x-rays)HF buf
2003
5
10
15
34
8
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
290
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
0
784
0.165755
0.16714
58
0.16714
54
0.167133
93
0.167126
101
0.167119
48
0.167112
78
0.167105
70
0.167098
83
0.167091
59
0.167084
109
0.167077
83
0.16707
68
0.167063
55
0.167056
84
0.167049
98
0.167043
84
0.167036
57
0.167029
98
0.167022
96
0.167015
63
0.167008
108
0.167001
103
0.166994
56
0.166987
92
0.16698
107
0.166973
96
0.166966
126
0.166959
107
0.166952
90
0.166945
89
0.166938
109
0.166931
111
0.166924
100
0.166917
83
0.16691
150
0.166903
131
0.166896
143
0.166889
144
0.166882
127
0.166875
166
0.166868
135
0.166861
193
0.166854
163
0.166847
176
0.16684
249
0.166834
200
0.166827
247
0.16682
196
0.166813
250
0.166806
235
0.166799
279
0.166792
277
0.166785
285
0.166778
267
0.166771
296
0.166764
242
0.166757
273
0.16675
310
0.166743
267
0.166736
217
0.166729
250
0.166722
286
0.166715
286
0.166708
288
0.166701
321
0.166694
300
0.166688
311
0.166681
314
0.166674
293
0.166667
281
0.16666
356
0.166653
345
0.166646
418
0.166639
384
0.166632
411
0.166625
482
0.166618
510
0.166611
514
0.166604
542
0.166597
579
0.16659
647
0.166583
660
0.166576
603
0.16657
695
0.166563
738
0.166556
700
0.166549
770
0.166542
769
0.166535
784
0.166528
737
0.166521
743
0.166514
668
0.166507
732
0.1665
633
0.166493
599
0.166486
554
0.166479
561
0.166472
504
0.166466
489
0.166459
415
0.166452
316
0.166445
321
0.166438
279
0.166431
232
0.166424
254
0.166417
154
0.16641
177
0.166403
187
0.166396
126
0.166389
92
0.166382
152
0.166376
125
0.166369
57
0.166362
69
0.166355
90
0.166348
86
0.166341
57
0.166334
77
0.166327
85
0.16632
69
0.166313
40
0.166306
100
0.166299
69
0.166293
60
0.166286
56
0.166279
76
0.166272
120
0.166265
73
0.166258
95
0.166251
125
0.166244
85
0.166237
92
0.16623
88
0.166223
89
0.166216
59
0.16621
23
0.166203
52
0.166196
81
0.166189
49
0.166182
17
0.166175
21
0.166168
58
0.166161
45
0.166154
35
0.166147
25
0.166141
51
0.166134
59
0.166127
73
0.16612
56
0.166113
54
0.166106
97
0.166099
41
0.166092
103
0.166085
73
0.166078
77
0.166072
36
0.166065
57
0.166058
22
0.166051
68
0.166044
37
0.166037
63
0.16603
37
0.166023
53
0.166016
119
0.16601
35
0.166003
57
0.165996
52
0.165989
61
0.165982
52
0.165975
50
0.165968
36
0.165961
109
0.165954
24
0.165948
65
0.165941
73
0.165934
47
0.165927
90
0.16592
56
0.165913
66
0.165906
60
0.165899
68
0.165893
86
0.165886
56
0.165879
66
0.165872
84
0.165865
58
0.165858
93
0.165851
64
0.165844
0
0.165837
50
0.165831
60
0.165824
48
0.165817
60
0.16581
66
0.165803
121
0.165796
52
0.165789
53
0.165782
51
0.165776
77
0.165769
39
0.165762
79
0.165755
(Treated with buffered HF solution, no ion etching
p-Si (P:10e14) native oxide (grazing x-rays)HF buf
2003
5
10
15
34
8
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.7
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
109
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
50
4.00E-06
0
0
0
0
562
110
16467
0.143719
0.14518
673
0.14518
657
0.145175
695
0.145169
719
0.145164
727
0.145159
700
0.145154
682
0.145148
680
0.145143
687
0.145138
717
0.145133
701
0.145127
657
0.145122
676
0.145117
739
0.145112
651
0.145106
651
0.145101
688
0.145096
684
0.145091
709
0.145085
664
0.14508
735
0.145075
700
0.145069
648
0.145064
664
0.145059
699
0.145054
667
0.145048
689
0.145043
685
0.145038
668
0.145033
678
0.145027
667
0.145022
646
0.145017
631
0.145012
652
0.145006
664
0.145001
621
0.144996
642
0.144991
641
0.144985
622
0.14498
607
0.144975
610
0.14497
585
0.144964
631
0.144959
573
0.144954
647
0.144949
609
0.144943
587
0.144938
603
0.144933
628
0.144928
624
0.144922
586
0.144917
601
0.144912
571
0.144907
578
0.144901
614
0.144896
584
0.144891
557
0.144886
585
0.14488
572
0.144875
593
0.14487
547
0.144865
538
0.144859
561
0.144854
578
0.144849
597
0.144844
522
0.144838
535
0.144833
562
0.144828
555
0.144823
581
0.144817
521
0.144812
602
0.144807
559
0.144802
581
0.144796
579
0.144791
578
0.144786
638
0.144781
621
0.144775
639
0.14477
640
0.144765
723
0.14476
708
0.144754
777
0.144749
771
0.144744
815
0.144739
899
0.144734
853
0.144728
972
0.144723
1036
0.144718
1011
0.144713
1122
0.144707
1118
0.144702
1200
0.144697
1242
0.144692
1383
0.144686
1393
0.144681
1380
0.144676
1418
0.144671
1470
0.144665
1547
0.14466
1613
0.144655
1616
0.14465
1662
0.144645
1757
0.144639
1768
0.144634
1683
0.144629
1774
0.144624
1780
0.144618
1752
0.144613
1714
0.144608
1723
0.144603
1661
0.144597
1599
0.144592
1566
0.144587
1538
0.144582
1403
0.144577
1417
0.144571
1334
0.144566
1219
0.144561
1146
0.144556
1151
0.14455
1078
0.144545
993
0.14454
946
0.144535
896
0.14453
889
0.144524
814
0.144519
792
0.144514
762
0.144509
759
0.144503
732
0.144498
669
0.144493
699
0.144488
655
0.144483
648
0.144477
624
0.144472
668
0.144467
646
0.144462
659
0.144456
610
0.144451
595
0.144446
593
0.144441
641
0.144436
670
0.14443
671
0.144425
664
0.14442
719
0.144415
696
0.14441
710
0.144404
724
0.144399
810
0.144394
834
0.144389
823
0.144383
862
0.144378
839
0.144373
962
0.144368
963
0.144363
1006
0.144357
1132
0.144352
1213
0.144347
1339
0.144342
1511
0.144337
1731
0.144331
1967
0.144326
2270
0.144321
2600
0.144316
3108
0.144311
3762
0.144305
4451
0.1443
5091
0.144295
6146
0.14429
7168
0.144285
8227
0.144279
9109
0.144274
10109
0.144269
10699
0.144264
10859
0.144259
10967
0.144253
10684
0.144248
10597
0.144243
10718
0.144238
10963
0.144233
11755
0.144227
12669
0.144222
13889
0.144217
15246
0.144212
16306
0.144207
16467
0.144201
16147
0.144196
14999
0.144191
13184
0.144186
10595
0.144181
8339
0.144175
6060
0.14417
4259
0.144165
2847
0.14416
1934
0.144155
1361
0.144149
970
0.144144
704
0.144139
593
0.144134
470
0.144129
399
0.144123
376
0.144118
338
0.144113
276
0.144108
273
0.144103
249
0.144097
220
0.144092
235
0.144087
208
0.144082
182
0.144077
208
0.144071
192
0.144066
166
0.144061
160
0.144056
149
0.144051
151
0.144046
146
0.14404
160
0.144035
156
0.14403
138
0.144025
167
0.14402
168
0.144014
156
0.144009
144
0.144004
156
0.143999
149
0.143994
167
0.143988
136
0.143983
141
0.143978
132
0.143973
135
0.143968
144
0.143963
135
0.143957
147
0.143952
139
0.143947
150
0.143942
148
0.143937
135
0.143931
169
0.143926
143
0.143921
133
0.143916
117
0.143911
150
0.143906
114
0.1439
147
0.143895
150
0.14389
148
0.143885
126
0.14388
131
0.143875
135
0.143869
143
0.143864
143
0.143859
133
0.143854
121
0.143849
135
0.143843
132
0.143838
164
0.143833
132
0.143828
119
0.143823
133
0.143818
142
0.143812
120
0.143807
147
0.143802
115
0.143797
110
0.143792
143
0.143787
131
0.143781
130
0.143776
135
0.143771
130
0.143766
135
0.143761
122
0.143756
132
0.14375
124
0.143745
128
0.14374
141
0.143735
121
0.14373
128
0.143725
159
0.143719
end of experiment
